ウェハー再生加工及びリサイクル

ウェハー再生加工
ウェハー再生加工は加工されたウェハー表面の修正作業です。膜が化学的に除去されて表面が研磨され、ウェハーがLPD仕様に合わせて洗浄されます。ウェハー結晶の欠陥部は変化しません。

ウェハーはお客様のニーズに合わせて再生が可能です。SVMはウルトラ・クリーンなウェハーおよび、LPD仕様の無いベーシックなハンドリングウェハーを提供できます。お客様の仕様に合わせて再生加工したウェハーをSVMに保管し、お客様が必要な時にのみ配送依頼をいただくことにより御社のスペースが節約できます。また、お客様は必要なウェハーにのみコストを支払うことになり、コストが削減できます。

ウェハー再生加工の一般的な流れ図はこちらをクリックしてください。

ウェハーリサイクル
SVMはお客様のニーズにあったリサイクルプログラムを提供します。お客様のウェハーを化学的に除去し、必要な場合には仕様に合わせて成膜を施します。ウェハーはSVMで保管し、お客様が必要な時にのみ配送依頼をいただくことにより御社のスペースが節約できます。また、お客様は必要なウェハーにのみコストを支払うことになり、コストが削減できます。

ウェハーリサイクルは、ウェハー表面の膜を化学的にすべて除去し、研磨を行わない、コスト節約型の除去・洗浄処理です。